高精度超音波流量計を流量センサに採用した分離型の流量コントロールシステム。特徴は、①独自の信号処理技術により、感度低下時でも流量計測を可能にし、異常出力を判別して除外することで耐気泡性能、流量計測安定性が向上、②プロセス接続部の流量センサ／コントロール弁と計測制御部を分離することで、液漏れなどに対する安全性が向上し、自由なレイアウトが可能、③最小2.5〜25mℓ/分から最大1〜10ℓ/分の流量に対応、など。