高倍率／高解像度で、配線基板、実装基板、電子部品などの内部を非破壊で観察／検査が可能な不良解析機能付きX線観察装置。特徴は、①160kV、0.2mA、0.25μm開放型水冷方式マイクロフォーカスX線管採用、②X線幾何学倍率：2000倍、③高解像度0.25μmを達成、④130万画素X線フラットパネル、⑤360°回転ターンテーブル付き、サンプル位置自動修正、⑥12インチシリコンウエハ対応（オプション）、など。