ナノメートルの高精度で変位を検出する基板タイプの小型非接触変位センサ。特徴は、①33bit距離測定用IC搭載モデルで、測定対象の金属表面との距離変化に対応した信号を33bitのデジタル信号として出力する、②測定対象物の位置変化を高精度で検出する、③専用半導体とプリント基板で構成しているため、低コストで高いパフォーマンスを得ることができる、④マルチセンシングなどのカスタム対応可能、など。