高温観察装置
SKシリーズ ギ酸雰囲気 加熱仕様
精密かつ再現性のある温度制御によって揺らぎのない高倍率観察を実現する高温観察装置。特徴は、①狭ピッチでのマイクロバンプ接合やパワー半導体など、ギ酸還元雰囲気下での試料の「その場観察」が行える、②N2バブリングによるギ酸濃度は1〜5%の範囲で任意に設定でき、脱気タイミングも設定可能、③プロファイルの設定は1℃、1秒単位で最大127ステップ設定可能、④昇温速度最大300℃/min(5℃/Sec)まで設定できる、⑤雰囲気気体をフローすることで試料の発煙や気化した有機物を排除し、揺らぎのない良質な映像が得られる、⑥上部/斜視の2方向から観察可能、など。
- 会社名
- 山陽精工(株)
- 所在地
- 東京都八王子市横山町10-2
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