パワーコントローラがついた130W 40kHzの超音波スプレー装置。特徴は、①コーティング液を導入したスプレーノズル先端に超音波振動によって微小な液滴を発生させ、基板に吹きつけることにより薄膜を形成する、②燃料電池のコーティングやシリコン、半導体ウエハ、セラミック基板へのスプレーに適する、など。主な仕様は、電圧：208−240VAC、50/60Hz、周波数：40kHz、超音波素子：PZT、超音波出力：0−130W 可変、平均液滴サイズ：25μm、粘度範囲：1〜50mPa·s（cP）、スプレーノズル：Ti-6Al-4V　合金製、スプレー速度：5mℓ/min〜40mℓ/min、など。