クリーンルームでの使用を目的に開発したジャケットヒータ。特徴は、①低発塵の材料を使用し丁寧に加工されている、②チャンバ本体から配管やバルブ、計器類まで幅広く使用することができる、③すべてオリジナル設計のため、ユーザーの開発思想を受け継ぐヒータに仕上げることができる、④使用している材料には半導体害になるシロキサンは含まれていない、⑤細部にいたるまでダストを極力抑えた仕様、⑥RoHS対応品、など。