高精細基板やサブストレートの電気検査を高速に実施するドイツatg-LM社製テスタ。主な特徴は、①検査エリアは最大610×310mm、②3μm解像度の高精細カメラを装備し最小25μmパッド/50μmピッチまで検査可能、③リニアモータ駆動の8本プローバで高速検査を実現、④加重制御式プローブやソフトランディング機能で打痕対策も万全、⑤不良解析ソフトウエアも標準装備、⑥検査プログラムは業界標準のIPC-D-356A形式をサポート、など。