レーザスケール
BS78
高速/高分解能でありながら安定した精密測定を実現するレーザスケール。特徴は、。①精密ステージ、半導体検査、製造装置、超精密加工機などに最適、②光波干渉計を超える信号波長138nmの高分解能スケール、③湿度、気圧、空気の乱れに影響を受けない高安定性、④原点精度:±0.1μm、⑤精度:±0.04μm(有効長:40mm)、⑥完全非接触。原理的に戻り、誤差が発生しない、⑦「-R/-RS」は有効長:40〜420mmの9種類を用意、「-N/-NS」は有効長:10〜420mmの10種類、⑧真空、非磁性対応(特殊仕様)、⑨低膨長ガラス使用:−0.7×10−6/℃(有効長:10〜420mm)、など。
- 会社名
- (株)マグネスケール
- 所在地
- 東京都江東区枝川3-1-4
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