ハイダイナミクスアプリケーション向けの高速チップ／チルトピエゾステージ。特徴は、①直交チップ／チルト軸は共通の回転中心をもち、両軸とも同じ性能特性を発揮するパラレル制御設計により、ダイナミクス／安定性／リニアリティが向上、②チップ／チルト角5mrad、光偏向角10mrad、③最大12.7mmのミラー用、④高リニアリティの位置センサ、⑤ダイナミックモーションと高速ステップアンドセトリングの高い共振周波数、など。