光の取り出し効率を向上させることで同社従来製品比5倍の高照度を実現しながら60％のダウンサイジングを実現したエキシマ光照射ユニット。特徴は、①従来と同照度を実現する場合、装置への搭載台数を従来の1/5にできるため装置のコンパクト化が可能、②ランプ長手方向を極限まで短縮することでユニット自体のコンパクト化を実現する、③冷却効率の改善により、窓面温度を低減することでさらなる低温処理が可能、④ユニット交換方式を採用することで、照度目標値と実際の照度のずれが少なく、ワーク/ロットごとの光量ばらつきが低減可能、など。