磁石やコイルを利用せず、圧電セラミックを振動させ、そのエネルギーを駆動力とする小型／軽量でありながら同サイズのDCモータと比べ、約5〜10倍の高トルクを発揮する超音波モータ。特徴は、①駆動源に磁力を利用する必要がないため、磁場環境で利用できる非磁性モータを構築することができ、MRI内などの高磁場環境や、磁場の影響を嫌う半導体製造装置内などで利用できる、②非通電、非制御で姿勢／状態を保持することができ、バックラッシュがないため、装置のダイレクトドライブによる高精度な位置制御が可能、など。