抵抗率（比抵抗）／シート抵抗のテスタ／ステージ一体タイプの、セミオート4探針法測定器。特徴は、①測定パターンプログラマブルかつ円型／角型測定対応マッピングソフトウエアを採用、②セルフテスト機能、③広範囲測定レンジ、④厚さ、周辺位置、温度補正機能（シリコン用）、⑤シート抵抗、メタル膜厚表示機能を搭載、⑥測定対象は、半導体／太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど）、新素材／機能性材料関連（カーボンナノチューブ、DLC、グラフェン、銀ナノワイヤなど）、導電性薄膜関連（メタル、ITOなど）、他。