オプティカルセンシング方式を採用した液体用の羽根車流量計。特徴は、①接液部はフッ素樹脂系などの完全非金属で構成され、半導体プロセスにおける純水／超純水／薬液などの流量計測に最適、②光電センサにより羽根車回転数を検出し流量計測、③フッ素樹脂系本体をベースにその他接液部の材質選択、④最小レンジ：0.04〜0.2ℓ/分、最大レンジ：5〜50ℓ/分、⑤チューブエンド接続またはRcねじ接続、⑥RoHS対応、など。