セラミック製比例式流量制御バルブ
エクリプス
密着した2枚のセラミックプレートをステッパ制御によりスライドさせることで、流体通路となるオリフィスを精緻に可変するClippard社製比例式流量制御バルブ。特徴は、①手のひらに乗るコンパクト設計、②接液部には高い耐久性と耐蝕制を備えるセラミックを使用、③従来のホッパー型比例制御バルブに比べて始動時のジャンプがなく、ソフトスタートが可能、④デッドボリュームがほとんどなく、フルオープン状態でのクリーニングが容易、⑤イン/アウト、双方向での使用が可能、⑥素早い応答性(<2ms)、⑦リークフリー(<0.05sccm)、など。
- 会社名
- サンワ・エンタープライズ(株)
- 所在地
- さいたま市浦和区東高砂町2-5
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