高分解能5nmとベアリングレスの非接触構造を同時に実現したエアパージ不要の高精度磁気式スケール。特徴は、①可動する機構部品の廃止により信頼性が向上、②検出ヘッドとスケール部の間隔を保ちながら5nmの高分解能を実現、③スケール部の磁性媒体は組成や磁性体密度を変更し、生産方式も改善することにより、磁気出力を30％向上、④最先端のTMRデバイスを採用し、従来比10倍の高感度をもつ低ひずみセンサを実現、⑤IP67密閉構造、など。