8インチサイズのウエハ全面加工が24時間以内で可能となる高スループット電子ビーム加工装置。特徴は、①最大電流1μAの大電流電子光学系を搭載、②クロック周波数400MHz化、③大面積ビーム偏向器を搭載し10mm□フィールドを実現、④ステージ移動時間を大幅に短縮、⑤ウエハサイズのナノインプリント用モールド作製がハイコストパフォーマンスで実現でき、量産から多品種少量生産まで幅広い加工分野へ適用可能、など。