非接触計測による0.1nm級表面性状評価を実現した光干渉顕微鏡システム。特徴は、①独自の干渉波形データ取得技術および波形処理解析技術により、高さ分解能1pm（アルゴリズム）を実現、②0.1nm級平滑面を平均化処理やフィルタ処理なしで計測可能、③低〜高倍率まで同じ高さ分解能で計測可能、④平滑面から粗面まで単一モードで光学フィルタなどの交換なしで計測可能、⑤高さ計測と同時に1走査で全焦点画像を取得可能、など。