特殊な自己潤滑型カーボンベーンを使用したドライロータリベーン真空ポンプ。特徴は、①自己潤滑型のカーボンベーンを使用しているため、オイルは使用せず、脈動が非常に少ない、②モータファンによりモータとポンプを冷却する効率的な設計、③省エネ設計、④低騒音、⑤シールドベアリング／空冷モータの採用によりメンテナンスはフィルタとベーンの交換のみで、交換部品にアクセスしやすい構造、⑥堅牢でコンパクトな構造、など。