把持対象物／用途／環境に応じてカスタマイズできるセラミック静電チャック。特徴は、①材質／製造技術／把持原理例として、材質にAl₂O₃を使用した製造技術はCo-fire／Post-fire、把持原理はクーロン力、②材質にALNを使用することで、〜500℃の高温環境での使用が可能、③ガス穴周りに発生しやすい異常放電対策が可能、④耐久性が高い、⑤ヒータ内蔵が可能、⑥表面のエンボス加工によりパーティクル対策が可能、など。