X軸ピエゾアシストステージ
TADC-251SPA
手動ステージ本体にピエゾアシスト機構を追加することで20nm以下の微動調整を行うことができるX軸ステージ。特徴は、①高分解能での位置調整が必要な手動ステージユニットやシステムに最適、②ステージサイズ25×25、40×40、60×60mmをラインアップしている、③ピエゾアシストステージ専用コントローラは設定は不要で、手軽に微動調整をすることができる、④ダイヤル式ノブの微動調整は、マイクロメータヘッドとの併用でも抵抗なく使用することができる、主な仕様は、テーブル面サイズ:25×25mm、粗動移動量:±3mm、微動移動量:25μm以上、など。
- 会社名
- シグマ光機(株)
- 所在地
- 東京都墨田区緑1-19-9
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