温度応答性、温度精度、信頼性を向上させた石英純水ヒータ。特徴は、①従来品に比べ技術面、制御面を大きく改善した他、再循環ループや不要なパージの廃止により低コストを実現、②複数の出水口に別温度を設定して各プロセスへ対応するなどユーザーのニーズに沿ったカスタマイズが可能、③プロセス制御、清浄性、システム稼働時間のいずれにおいてもあらゆる用途に対応可能なソリューション、④精度:±0.3℃、⑤ヒータ型式は薄膜抵抗体による加熱、など。