信号波長250nmの高精度反射型レーザスケール。特徴は、①薄型ステージ／半導体後工程機器／精密顕微鏡に最適、②高精度：±1μm/420mm、③高速応答：700mm/秒、④最高分解能：0.03125nm、⑤ラインアップ：原点付き、原点なし、⑥完全非接触：原理的に戻り誤差がない、⑦スケール部：青板ガラス／低膨張ガラス、⑧厚み：12mmの薄型ヘッド、⑨各種分解能、出力形式に対応（BD96などインターポレータによる）、⑩真空対応（特殊仕様品）、など。