MEMSミラー
ハイスピード/フォーカシングパラボリック
共焦点顕微鏡、深堀レーザ加工、マシンビジョンへの応用に最適なMEMSミラー。特徴は、①焦点位置設定範囲:∞<f<67mm、②設定制御:任意の焦点位置で静止/スキャニング、③動作速度:<200μs、④高速、かつ正確で、繰り返し可能なフォーカス制御、⑤直径2/4mmφ(他の直径も応相談)、⑥高速調整時間:<200μs、⑦反射アルミコーティングにより色収差がない、⑧収差補正機能、⑨高速制御エレクトロニクス、⑩小型かつ軽量、⑪低消費電力で低発熱、⑫無振動で無音、など。
- 会社名
- (株)ティー・イー・エム
- 所在地
- 東京都千代田区神田紺屋町17
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