低加速の電圧ながら高分解能な観察を実現するハイレゾ低加速走査電子顕微鏡。特徴は、①汎用SEMの使い勝手とFE-SEMレベルの性能を両立、②測定試料／個所に合わせた3つの観察モード（ハイレゾ低加速モード／ボトムレンズモード／トップレンズモード）を搭載、③「見やすくて使いやすい」をコンセプトにしたユーザーインタフェースを装備し、タッチパネル操作を導入したことにより、直感的な操作が可能、④オプションでSEMコントローラボックスを用意、など。