精密XYテーブルを採用し、高精細な液剤塗布を可能とする卓上型液剤塗布ロボット。特徴は、①ディスペンサ本体を固定しXYテーブルの移動を行うことで、ディスペンサ本体の振動やパーティクル落下の問題を解決し、塗布の品質向上と歩留まりアップに貢献、②塗布位置へ数μmの高精度で位置決めでき、φ100μm以下の微小点塗布や極細線塗布、重ね塗りのずれ防止を実現可能、③多機能で、標準ソフトウエアを含めたシステム構成、など。