高真空のチェンバの装置内で遠隔操作をする場合に使用する低アウトガスの真空仕様超音波アクチュエータ。特徴は、①小型な外形でありながら、移動量13mm、最大移動速度0.5mm/秒の高速移動を実現、②摺動部分のグリスには、BARRIERTA SUPER IS/Vを使用、③分解能：＜1μm、④保持力：30N（VPKA-13ACT）／15N（VPKAS-13ACT）、⑤質量：0.2kg（VPKA-13ACT）／0.1kg（VPKAS-13ACT）、⑥先端端子の形状変更にも対応可能、など。