オールメタルチューブを採用し、長ガス寿命を実現した小型エキシマレーザ。特徴は、①ウォームアップを必要とせず、簡単なオペレーションで操作可能、②省スペースで低コストが要求される研究開発から試作／小中規模生産ラインに最適、③オールメタルチューブによる長ガス寿命、④コロナ予備放電による安定性の向上、⑤固体スイッチ電源によりウォーミングアップ不要、⑥高品質ビームプロファイル、⑦ポンプ／フィルタを内蔵した省スペース構造、⑧主な用途は、微細加工：微小穴加工､薄膜除去加工などの他、ファイバグレーティング、質量分析：LA-ICP-MS、TOF-MS、APLI、など。