微細な面内／面外振動および表面形状データを収集でき、マイクロデバイスの故障解析の簡略化、設計サイクルの短縮化品質の改善、歩留まりや性能の向上、生産コストの削減に貢献する顕微鏡型振動計システム。特徴は、①3つの異なる測定技術を有する、②面外振動の測定についてはスキャニング振動計の計測技術でマイクロストラクチャの振動を可視化、③面内振動の測定についてはストロボスコープ照明とデジタル画像技術でアニメーション表示、④表面形状の測定については、3D形状解析を行い、グリーンLEDベースの光干渉計で高精度な形状データを収集、など。