同社独自の光学原理である格子干渉方式で構成され、十分な測定範囲をもちながら、高い分解能と低ノイズ化を実現した非接触変位センサ。特徴は、①格子干渉方式は参照光と物体光が常に同じ長さに保たれ、温度変化による光源の波長変化、気圧変化、湿度変化によるドリフトが光学的にキャンセルされることで長時間計測においても安定した計測が可能。従来の干渉計で回避できなかった空気の揺らぎや振動の影響も解消し、高分解能制御を可能にする、②広い計測範囲：±5mm、③分解能2.1pmを実現、④サンプリング周波数10MHz、データディレイ10μsの高速演算が制御用途に対応、など。