超純水や各種薬液などの小流量計測用に設計された流量計で、UCUF-E形検出器と、SFC形変換器で構成されている。特徴は、①検出器の接液部はPFA材質で構成され、可動部がなく、液溜まりを生じやすいOリングなどの機械的シール部もない、②変換器は表示付きパネルマウント形で、瞬時流量や積算流量などが表示できるほか、容易な操作で各種設定の確認、変更が可能、③半導体装置などの高いクリーン度が要求されるプロセスに最適、④検出器はコネクタ構造の着脱式センサケーブルを採用、⑤変換器は配線工事がしやすいプラグイン構造、⑥動粘度40mm²/sまでの高粘度流体の測定が可能、など。