超純水や各種薬液などの小流量計測用に設計された流量計。特徴は、①UCUF-E形検出器とSFC形変換器で構成、②検出器の接液部はPFA材質で構成され、可動部がなく、液溜まりを生じやすいOリングなどの機械的シール部もない、③変換器は流体に含まれる気泡に対する影響を軽減し各種薬液に対応するため流体動粘度の影響をキャンセルする補正機能を搭載、④半導体装置などの高いクリーン度が要求されるプロセスに最適、⑤検出器はコネクタ構造の着脱式センサケーブルを採用、⑥変換器は配線工事がしやすいプラグイン構造、⑦動粘度40mm²/sまでの高粘度流体の測定が可能、など。