ダンパ不要で低脈動、トータルコストの削減に貢献するウエハ洗浄液移移送送に最適なエア駆動低脈動ベローズポンプ。特徴は、①独特の駆動メカニズムがポンプ脈動を打ち消す最適な位相にベローズの動きを制御、脈動がきわめて少ない運転を実現、②位相制御を行うことで負荷変動時の追従性が向上。特に枚葉プロセスなどの圧力変動が頻繁に発生するラインで吐出量、吐出圧の安定した運転を実現、③従来型と比較してエア消費量を最大30％（同社従来比）削減。供給エア圧力を下げても従来型と同等の性能が得られる、④ダンパの組み込みが必要ないので装置の省スペース化を実現、など。