水蒸気（H₂O）をもちいて、金属酸化膜の還元、有機汚れの洗浄、フォトレジストアッシング、親水化などの表面処理を、安全に効率良く行うことができるプラズマ処理装置。特徴は、①400mm基板対応、②Aqua Plasmaによる金属酸化膜の安全な還元と洗浄を実現、③酸素（O₂）の添加により洗浄速度の高速化が可能、④水蒸気生成／供給量の自動コントロールシステム内蔵、⑤設置面積を従来機比60％に削減、⑥多段処理対応（最大3段）、⑦タッチパネル操作による自動運転およびレシピの保存（最大100）、など。