多点監視用パーティクルセンサ
KA-02
センサ多点モニタリングシステムの構築に最適な多点監視用パーティクルセンサ。特徴は、①小型、軽量であるためプロセス装置内の発塵モニタに適する、②粒径区分(2段階)0.3μm、0.5μm以上、③筐体にステンレスを採用しており、耐薬品性を向上、④多点モニタリングシステムにも対応(RPモニタ EVO K0505 Ver.3、多点監視ソフトウエア KF-03)、⑤オプションの多点監視ソフトウエア『KF-03』は、パーティクルカウンタからの粒子数データや各環境センサからの温湿度データなど施設内のさまざまな情報を一括集中管理できる、など。
- 会社名
- リオン(株)
- 所在地
- 東京都国分寺市東元町3-20-41
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