単軸から最大3軸一体型まで豊富なラインアップを揃えたピエゾステージの基本シリーズで各軸とも機構の違いにより直接駆動機構と変位拡大機構に分かれている。直接駆動機構の特徴は、①圧電素子が直接移動テーブルを動かす機構、②ストロークを抑えることで分解能、応答性に優れる、③剛性が高く、負荷が大きくても安定した位置決めが可能、など。変位拡大機構の特徴は、①圧電素子の伸長を機械的に増幅する変位拡大機構を介した構造を備える、②拡大率により直接駆動の数〜十数倍のストロークが達成可能、③内蔵変位センサによるフィードバック制御で高い再現性で位置決めが行える、など。