コストパフォーマンスに優れたPFA製渦式フローセンサ。特徴は、①シンプル構造で、半導体装置プロセスの超純水／水／低粘度薬液などの流量管理に最適、②流路には渦発生体と渦検出体があるだけのシンプル構造で低圧力損失、③ボディにはNew PFA（420HP-J）を採用し、センサ部をOリングレス構造とした接液部オールPFAタイプをラインアップ、④カルマン渦式を採用し、可動部がなく定期的な保守点検の必要がない、など。