SiC、GaNなどのパワー半導体デバイスの容量測定に最適な高電圧C-V測定システム。特徴は、①最大5kVまでのバイアス電圧を印加した状態で、入力容量や出力容量、帰還容量などを全自動で測定できるので、仕事の効率化に貢献、②様々なデバイスのパッケージに対応した、カーブトレーサ用アダプタがそのまま使用可能、③ウエハやチップ上での容量測定のために、プローブステーションとのシステム化に対応、④高電圧用コンデンサなどの容量測定も可能、など。主な仕様は、DCバイアス：0-5kV／0-50V（CS-605）、0-3kV／0-50V（CS-603）、設定分解能：100mV／1mV、など。