効果的かつ経済的に産業用の真空を生成する、低排気速度の真空ポンプ。特徴は、①高い動作効率、②非接触式で作動液が不要のため、高性能を確保しつつ運用コストを低減する、③排気スピードはそれぞれ、40／60／80m³/h、④プロセスガスの圧縮に作動液を必要としない、⑤クロスコンタミネーションが生じないためコストのかかるプロセスガスの洗浄が不要、⑥周波数コンバータと同期式のドライブトレインを標準装備、⑦周波数コンバータは最高速度に初期設定されているが、電源供給によって切り替え可能、⑧システムはデジタルまたはアナログ入力を介し、外部の制御コマンドを受信できる、など。