自動インラインシステムによる量産型の真空リフローシステム。特徴は、①VADUシステムは、温度勾配と最高400℃までのプロセス温度を制御することで加熱及び冷却を短時間で実行可能、②排気中の温度安定性も十分確保している、③インテリジェントな温度管理機能によりサブストレート温度を継続的にモニタしながら加熱及び冷却プレートを制御。この独自技術により、短いサイクルタイムでの結果出力と高性能なソルダリングプロセスを実現、など。主な仕様は、バキュームチャンバ数：3チャンバ、プロセス領域：410×280mm、クリアランス高さ：最大100mm、など。