超音波小型液体流量計
SLF-100
半導体装置の純水、薬液の流量管理に適する超音波小型液体流量計。特徴は、①配管を切断する必要のないクランプオン式センサ採用、②広いレンジアビリティ、③低消費電力、④コンパクト設計、など。変換器の仕様は、測定原理:超音波伝播時間差演算方式、環境条件:温度…-10~50℃、表示部:LCD表示器(16文字×2行)、積算流量または瞬間流量、設定項目:フルスケール流量、流量単位、他、測定精度:±2% RD(流速1~10m/s)ただし流体中心温度:±2℃ ±2cm/s(流速1m/s以下)、など。
- 会社名
- (株)ソニック
- 所在地
- 東京都西多摩郡瑞穂町箱根ヶ崎東松原10-22
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