コンパクト、かつ低消費電力ながら高い推力を備え、電源オフでもポジション維持を実現するピエゾモータステージ。摩擦保持されるため、静止時にも高い安定性を備えている。主な仕様は、可動軸：X軸、XY軸、ストローク：±4～±13mm、本体サイズ：□46mm、□90mm、□120mm、分解能：20nm～、繰り返し再現性：±20nm～、推力：6N、20N、など。