アナログ回路主体からデジタル回路主体にし、優れた性能と高機能を実現した高精度デジタル隔膜真空計。

特徴は、
①表示分解能：6 1/2桁（同社従来比約2桁向上）、
②精度：0.1％R、
③パルス信号伝送のためノイズ耐性が向上、
④高速データ通信／自動零補正が標準で可能、
⑤容積が同社従来比1/2以下、
⑥成膜装置のプロセス圧力モニタリング、ガス置換／ガス封入／真空蒸留／真空乾燥などの圧力モニタリングに最適、
など。