大型試料サイズ計測に対応する独特なデザインシステムを採用した、リードアングル評価対応の非接触3次元光干渉粗さ計。

特徴は、
①さまざまな大型試料へのフレキシブルなアプローチを実現、
②304×304×249mmにわたる試料搭載スペースを実現、
③±45度まで振れる傾斜調整ヘッド搭載により､局所的表面形状測定が可能、
④防振性能を極限まで高めた高性能空気ばね式防振台と光学計の一体設計、
⑤1×1m四方に収まるコンパクトな省スペースデザイン、
⑥ロータリ駆動部シールド面のリードアングル測定対応、
⑦高精度リアル3D情報を数秒でアウトプット、
など。