モータ定格出力1Wあたりの排気速度において高い効率を実現するロータリ真空ポンプ。特徴は、①軽量、小形で、特殊ロータ形状の採用により省スペース化を実現、②強制空冷式を採用し、低発熱を実現、③マグネットカップリングの採用により、回転軸シール摺動がなくシールによる発熱なし、④回転部への徹底したバランス設計により低運転音／低振動を実現、⑤自己潤滑性／耐摩耗性にすぐれたスーパーエンプラ、及び特殊表面処理の採用によりすぐれた耐久性、⑥ロータとシリンダの間に一定の微小クリアランスを設け、基本的に非接触構造化と摺動部の極小化を実現、など。