薄ウエハや薄板ガラス基板を低ストレスで非接触固定できる非接触吸着盤。

特徴は、
①同社独自の非接触吸着技術により、流体静力学による安定した浮上特性と真空吸引による予圧効果で、低ストレスと強力な把持力を両立、
②空気消費を抑え、優れた静音性を実現、
③塵／埃の巻き上げがない、
④給気圧力と吸引圧力の組み合わせで隙間調整が可能、
⑤浮上隙間は吸着面に対して均一で、ワークは高精度な平面で支持される、
など。