ダイアフラムポンプとターボ分子ポンプの組み合わせにより、完全ドライを実現したターボ分子ポンプ排気装置。

特徴は、
①ベース架台にターボ分子ポンプ（60L/秒）とドライ真空ポンプ（20L/分）などの必要機器をコンパクトに構成、
②完全ドライの排気ユニット、
③半導体／分析／検査／理化学／製薬などの各分野におけるクリーンな真空環境に最適、
④設置スペースがコンパクト（最大寸法：W340×D340×H355mm）、
など。