PVウエハやタッチパネル用薄板ガラスを始めとする、壊れやすい板状部材を浮上させて非接触搬送する製品。

特徴は、
①手作業をなくし、安全な作業と工場の自動化、高速化を実現、
②ワークをエアで均一に浮上させるので、汚染や損傷の心配なく搬送、
③ワークを流体で支持するので、振動なく、精密に滑らかに搬送、
④ワークの側面にも触れることなく案内し、ガイドは不要、
⑤摩擦がないので速度上限がなく、システムの能力を最大限に引き出す、
⑥シンプル設計で駆動部がなく、保守や調整は不要、
⑦部品点数が少ないので、設計や調達、組み立ての労力と時間を大きく削減、
など。