接触式では検出が困難なMEMSや圧電素子、微小構造体、超音波駆動の振動検出が可能なレーザドップラ振動計用顕微鏡ユニット。

特徴は、
①最小2.5μm（LV-0381）／4.5μm（LV-0383）のレーザスポット径で振動検出が可能、
②LV-0383は3台のレーザドップラ振動計により、3軸（X／Y／Z）方向の振動検出が可能、
③同軸落射照明と倍率の違う2台のデジタルカメラ（オプション）で、素早く正確なレーザ光の位置決めと画像記録が可能、
など。