XY軸大型エアベアリングステージ
Plglideシリーズ

スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適なXY軸大型エアベアリングステージ。特徴は、①クリーンルームに対応、②カスタマイズ可能、③最大移動量:500×1000mm、④最大負荷荷重:15kg、⑤非接触完全プリロードエアベリング、⑥最大分解能:1nm、⑦最大速度:1m/秒、⑧最大加速度:1g、⑨直線性/平面性最大:0.25μm、⑩アクティブヨー制御&誤差補償、⑪動的マッピングにより、ほぼ「レーザ」パフォーマンスを達成、など。
- 会社名
- ピーアイ・ジャパン(株)
- 所在地
- 神奈川県川崎市幸区堀川町580

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