UHVモータ
Dシリーズ

ダイヤモンド様炭素(DLC)によるプラズマ誘起化学蒸着法にてシリコンスティールラミネート加工がされているAML社のUHVモータ。特徴は、①内部の標準ベアリングはSUS材でわずかな量のパーフルオロポリエーテルグリース(UHV用グリース)にて潤滑しているがドライ潤滑用に二硫化タングステンやハイブリッドベアリングを使用したモータの提供も可能、②1×10-10mbar(1×10-8Pa)の真空度環境での活用、③ベーキング温度は200℃まで、④動作温度:77K(−196℃)〜175℃、⑤SMD210コントローラにて高トルク、ステップレートにて真空内で連続運転可能、⑥耐放射線強化タイプも用意、など。
- 会社名
- テクノロジーリンク(株)
- 所在地
- 東京都豊島区南池袋3-18-35

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